超宽测量范围
四点探头能提供100μA至1A的电流,该系统可以测量1mΩ/至100MΩ范围内的薄层电阻,从而能够表征各种材料。
高精度
可以使用PC软件进行正极性和负极性测量。这使您能够计算正电流和负电流之间的平均薄层电阻,消除可能发生的任何电压偏差,从而提高测量精度,动态测试重复性可达0.2%(ITO薄膜)。
全自动扫描
“手动任意点测量”和“全自动多点测量”两种测量模式。XY轴自动平台最大行程兼容至230mm x 230mm,多种预设方案供选择,也可自定义测试方案,只需提供坐标,即可一键测量。
易于使用
只需插入系统,安装软件,您就可以开始使用了!直观的界面额简洁的设计使四点探头易于使用,简化了薄层电阻的测量。可以使用各种形状和尺寸的基板。
无损检测
四点式探针在设计时考虑了精密样品的测量,温和的弹簧加载触点和圆形尖端。探针压力3-5N,防止探头刺穿脆弱的薄膜,同时仍然提供良好的电接触。
快速材料表征
PC软件(随系统提供)可执行薄层电阻、电阻率和电导率的所有必要测量和计算,使材料表征变得毫不费力。它还会自动执行校正因子计算。
1%行业领先精度
与非接触式涡流测量相比,四探针技术具有更高的分辨率、良好的精度、长期稳定性和更宽的测量范围。非接触式涡电流测量将衬底的薄层电阻率与表面层的电阻率结合在一起测量,并导致不确定度。
由于探针是弹簧加载的,当样品上升到探针中时,探针会压缩,从而产生恒定的接触力。