通过腐蚀去除表面损伤层，并在表面进行制绒，以形成绒面构造达到陷光效果，减少反射损失。绒面反射率的测定是监控制绒工艺的重要手段。
通过热扩散等方法在硅片上形成不同导电类型的扩散层，以形成pn结。不同类型电池片会在pn结与硅片之间，沉积一定厚度的钝化层，从而获得更高效的薄膜太阳能电池。这一过程主要监控少子寿命、硅片厚度以及折射率。
为进一步提高对光的吸收，在硅片表面覆盖一层减反射膜。目前工业上用等离子体增强化学气相沉积方法PECVD在硅片上沉积一层薄膜，这层薄膜同时起到钝化层的作用。这一阶段主要对减反射膜的透过率、方块电阻的均匀度进行测量。
在电池的正面丝网印刷栅线电极，在背面印刷背场和背电极，并进行干燥和烧结。这一过程中温度控制、点位精度、栅线高宽比是不可缺少的监测指标。
