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「清洗制绒」

通过腐蚀去除表面损伤层,并在表面进行制绒,以形成绒面构造达到陷光效果,减少反射损失。绒面反射率的测定是监控制绒工艺的重要手段。

「扩散制结、去边」

通过热扩散等方法在硅片上形成不同导电类型的扩散层,以形成pn结。不同类型电池片会在pn结与硅片之间,沉积一定厚度的钝化层,从而获得更高效的薄膜太阳能电池。这一过程主要监控少子寿命、硅片厚度以及折射率。

「镀减反射膜」

为进一步提高对光的吸收,在硅片表面覆盖一层减反射膜。目前工业上用等离子体增强化学气相沉积方法PECVD在硅片上沉积一层薄膜,这层薄膜同时起到钝化层的作用。这一阶段主要对减反射膜的透过率、方块电阻的均匀度进行测量。

「制作电极」

在电池的正面丝网印刷栅线电极,在背面印刷背场和背电极,并进行干燥和烧结。这一过程中温度控制、点位精度、栅线高宽比是不可缺少的监测指标。

哪些设备将应用到电池片生产品控?
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