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实验室涂布系统集成
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功能集成化涂布系统通过涂布设备与手套箱的功能整合,可以实施对水氧环境严格控制,实现高精涂布实验及样片表征等功能集成。

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系统功能

洁净度控制

环境氛围控制

涂布处理

涂布过程减震

样片加热、固化处理

膜厚测量

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手套箱双面操作

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